三維表面輪廓儀是一種用于高精度測(cè)量物體表面三維形貌的精密計(jì)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于電子、汽車(chē)、半導(dǎo)體、材料科學(xué)及工業(yè)檢測(cè)等領(lǐng)域。

　　三維表面輪廓儀的性能由關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)決定，不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)參數(shù)的要求差異顯著，在選購(gòu)時(shí)需重點(diǎn)關(guān)注以下指標(biāo)：

　　1、測(cè)量范圍：

　　包括橫向范圍(X/Y 軸，決定可測(cè)樣品的*大尺寸)和縱向范圍(Z 軸，決定可測(cè)表面的*大高度差)。

　　2、分辨率：

　　縱向分辨率：衡量區(qū)分表面微小高度差的能力，是核心指標(biāo)；

　　橫向分辨率：衡量區(qū)分表面微小橫向特征的能力，與光學(xué)系統(tǒng)的物鏡倍率、探測(cè)器像素有關(guān)。

　　3、測(cè)量精度：

　　指測(cè)量結(jié)果與真實(shí)值的偏差，通常包括線性誤差(Z 軸位移的線性度)、重復(fù)性誤差(多次測(cè)量同一位置的偏差)、平面度誤差(校準(zhǔn)平面的測(cè)量偏差)。

　　4、測(cè)量速度：

　　取決于掃描方式(逐點(diǎn)掃描、線掃描、面掃描)和數(shù)據(jù)處理效率：

　　結(jié)構(gòu)光投影式：面掃描，速度*快(毫秒級(jí)，適合在線檢測(cè))；

　　原子力顯微鏡：逐點(diǎn)掃描，速度*慢(分鐘級(jí)，適合離線精密分析)；

　　白光干涉儀：線掃描，速度中等(秒級(jí)至分鐘級(jí)，兼顧精度與效率)。

　　5、樣品兼容性：

　　包括樣品的材質(zhì)(金屬、非金屬、透明 / 不透明、導(dǎo)電 / 絕緣)、尺寸(是否適配樣品臺(tái))、表面狀態(tài)(光滑 / 粗糙、干燥 / 濕潤(rùn))。