Hartmann-Shack波前傳感器/波前分析儀是專用于激光束性能的綜合表征，對激光輻射傳播行為預(yù)測以及光束質(zhì)量因子M2的確定，從同時記錄強(qiáng)度和相位分布光束質(zhì)量可以通過菲涅耳-基爾霍夫積分計算沿光束路徑的任何位置，特別是焦平面。

Hartmann-Shack波前傳感器系統(tǒng)基于微透鏡陣列，將入射波分散成大量的次級光波。用相機(jī)檢測每個獨(dú)立聚焦點(diǎn)的強(qiáng)度和位置，通過單次測試便能重構(gòu)光束剖面和波前。

主要功能

       光束傳播（NIR~EUV）

       基于ISO光束參數(shù)分析

       M2光束質(zhì)量因子實時測量

       聚焦性能檢測

       光學(xué)測試/Zernike分析

主要特點(diǎn)

       單次測試可獲得所有光束參數(shù)

       光譜范圍: 1100nm~1nm

       動態(tài)范圍：up to 100λ

       靈敏度：<100pm

       多種規(guī)格微透鏡陣列和相機(jī)可選

       客戶方案定制

光束測試軟件

測試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)